NMM-1:

Nano Measuring Machine

• Sistema de medición y posicionamiento multi-sensor 3D de la más alta precisión.
• Sensores personalizados, por ejemplo Sensores de enfoque láser, microscopios de fuerza atómica, sensores de luz blanca, microsonda 3D.
• Rango de medición o de posicionamiento, 25mm x 25mm x 5 mm.
• Resolución 0,1 nm (Nanómetro).
• Modos de funcionamiento:
  
  

1. Sistema de posicionamiento dinámico
   
2. Sistema de medición con modo de escaneo continuo o modo de paso
   Control del NMM-1 a través de un cómodo lenguaje de script en la PC host.

Aplicaciones:

• Posicionamiento, manipulación, procesamiento y medición de objetos de microelectrónica, micromecánica, óptica, biología molecular y tecnología de microsistemas con precisión nanométrica en grandes áreas espaciales.
• Medición de piezas de precisión, por ejemplo Penetradores de dureza, membranas y micro lentes.
• Calibración de patrones de altura y patrones de paso.