Interferómetro de dos haces:
Dos haces de medición paralelos detectan dos valores de longitud, independientemente el uno del otro. Como resultado se pueden determinar además de la posición los valores de ángulo y de diferencia.

Ventajas:

• Medición simultánea de longitud y ángulo o medida diferencial.
• Distancia de haz seleccionable.
• Dependiendo de la aplicación se puede combinar con espejo plano, reflectores de esfera o de hollow.

Aplicaciones:

• Detección simultánea de longitud y ángulo, por ejemplo para medir en ejes.

Interferómetro de tres haces (3 DOF):
Tres interferómetros láser en un dispositivo registran independientemente tres valores de longitud. Como resultado se puede además de la posición, determinar dos ángulos o valores de diferencia, simultáneamente.

Ventajas:

• Medición simultánea de longitud, ángulos de inclinación y de guiñada.
• Medida de rectitud de guías y ejes mediante el método de prueba de ángulo (según DIN ISO 230-1) en una sola pasada (no se requiere conversión).
• Software de calibración para mostrar las mediciones.
• Permite la corrección de desviaciones causadas por el desplazamiento de Abbe.
• Determinación de la posición de rotación en caso de inclinación.

Aplicaciones:

• Detección simultánea de longitud y ángulo, por ejemplo para medir en ejes.

Interferómetro láser de calibración (5 DOF):
interferómetro de tres haces para grandes rangos de medición (hasta 15 m y más). Se ha integrado una medición de rectitud adicional con la ayuda de un Prisma Wollaston y de un espejo de rectitud. Por lo tanto, ahora se pueden realizar mediciones de 5 grados de libertad.